Überwachung der Gasversorgung eines Halbleiterwerks in Dresden

Das SCADA System FabView™ (von AIR LIQUIDE) und ALERT überwachen die Gasversorgung im Werk eines Halbleiterherstellers in Dresden

AIR LIQUIDE ELECTRONICS beschäftigt sich mit der Gas- und Chemikalienversorgung der Halbleiterindustrie und bietet hier seinen Kunden vollständige Lösungen. Der Fertigungsprozess von Speicherbausteinen, Mikroprozessoren oder integrierten Schaltkreisen stellt allerhöchste Anforderungen an Produktqualitäten der eingesetzten Materialen wie Gase oder Chemikalien aber auch an die Sicherheit des Prozesses und des Betreiberpersonals. Aus diesem Grunde ist eine Prozessüberwachung im Bereich der Gasversorgung eines Halbleiterherstellers ein unverzichtbares Werkzeug.

Die deutsche AIR LIQUIDE GmbH ELECTRONICS konnte vor einigen Jahren die komplette Gasversorgung für ein neues Halbleiterwerk in Dresden gewinnen. Neben der Systemtechnik wird auch das sogenannte Total Gas Management (TGM), der Betreiber-Service von AIR LIQUIDE gestellt. Dieses TGM-Team arbeitet täglich mit einem Prozessvisualisierungs-System, um die Gasversorgung ständig überwachen zu können. Dieses SCADA System FabView™ (SCADA = Supervisory Control And Data Acquisition) gehört ebenfalls zum Lieferprogramm der AIR LIQUIDE. FabView™ ist eine Standardapplikation zur Visualisierung und Alarmierung der Gasüberwachung und wurde von AIR LIQUIDE ELECTRONICS SYSTEMS in Grenoble, Frankreich, entwickelt, geliefert und installiert.

FabView™, exemplarische Bildschirmansicht (dargestellt ein  Gaskabinett)

FabView™ ist ein auf Wonderware INTouch basierendes System unter einer Microsoft WinNT- oder Win 2000 Benutzeroberfläche. Microsoft Industrial Server sorgt für das Management der enormen Menge anfallender Informationen. Die Meldungen und Alarme werden mittels Micromedia ALERT zur automatischen Rufauslösung gebracht. Im folgenden finden Sie einen Überblick der zu überwachenden Gas-Systeme sowie des SCADA-Systems.
Gas Systeme
* Ca. 400 vollautomatisierte Versorgungsanlagen für Spezialgase aus Druckgasflaschen (sog. Gaskabinette, VMBs), die je mit einer eigenen SPS (SIEMENS S5 95, S7 300) mit dem Leitsystem kommunizieren.
* Eine Luftzerlegungsanlage, die durch tiefkalte Destillation der verflüssigten Luft hochreinen Stickstoff und hochreinen Sauerstoff erzeugt.
* Neun Gastanks für die Lagerung von verflüssigtem hochreinem Stickstoff, Sauerstoff, Argon, Helium und Wasserstoff.
* Eine Anlage zur Bereitstellung von Stickstofftrifluorid (NF3).
*9 Gasreinigungsanlagen (8 thermische und eine kryogene )
*12 Gasanalysesysteme
* Zwei Gasmischanlagen zur Erzeugung von sog. Formiergas (Wasserstoff in Stickstoff)
*10 automatisierte Gas-Filterstationen
* Eine vollständige Drucklufterzeugungsanlage bestehend aus 5 Kompressoren, 10 Filterstationen, zwei Verteilungssystemen und einer Notspeiseanlage.

SCADA System